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    2024-4-28

徐鑫
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展望未来,光刻靶技术将继续朝着---、高速率、低成本的方向发展。一方面,随着纳米技术的不断进步,---靶标光刻生产商,光刻靶的图案刻制精度将进一步提高,使得更细微的结构得以实现。另一方面,随着智能制造、自动化等技术的普及,光刻靶的生产过程将高速、稳定,降---造成本,提高生产效率。此外,光刻靶技术还将与其他微纳制造技术相结合,形成完整的制造体系。例如,与纳米压印技术、电子束光刻技术等相结合,---靶标光刻,实现多尺度、多材料的微纳结构制造。这将为微纳制造领域带来更多的---空间和发展机遇。



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