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光刻靶技术为科研---提供了---的实验手段，推动了科研方法的---。传统科研方法受限于实验条件和设备精度，往往难以探索微观的复杂结构和现象。而光刻靶技术以其---、高---性的特点，为科研人员提供了---的实验条件，使他们能够更深入地研究物质的微观结构和性质，从而推动科研方法的---与发展。其次，光刻靶的应用促进了制造业的转型升级。随着光刻靶技术的普及和应用，传统制造业的生产方式和工艺流程得到了改进和优化，生产效率和得到了---提升。同时，光刻靶技术还催生了新兴产业的---，如微纳制造、精密加工等领域，为制造业的转型升级提供了有力支撑。



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